1. 產(chǎn)品概述
FR-pRo膜厚儀: 按客戶的需求量身定制的薄膜特性測(cè)量工具。
FR-pRo膜厚儀是一個(gè)模塊化和可擴(kuò)展平臺(tái)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備,用于測(cè)量厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。
FR-pRo膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種不同的應(yīng)用。 包括:吸收率/透射率/反射率測(cè)量,薄膜特性在溫度和環(huán)境控制下甚至在液體環(huán)境下的表征等等…
2. 膜厚儀應(yīng)用
大學(xué)&研究實(shí)驗(yàn)室
半導(dǎo)體行業(yè)
高分子聚合物&阻抗表征
電介質(zhì)特性表征
生物醫(yī)學(xué)
硬涂層,陽(yáng)極氧化,金屬零件加工
光學(xué)鍍膜
非金屬薄膜等等…
FR-pRo膜厚儀可由用戶按需選擇裝配模塊,和心部件包括光源,光譜儀(適用于 200nm-2500nm 內(nèi)的任何光譜系統(tǒng))和控制單元,電子通訊模塊。
此外,還有各種各種配件,比如:
用于測(cè)量吸收率/透射率和化學(xué)濃度的薄膜/試管架;
用于表征涂層特性的薄膜厚度工具;
用于控制溫度或液體環(huán)境下測(cè)量的加熱裝置或液體試劑盒;
漫反射和全反射積分球。
通過不同模塊組合,蕞終的配置可以滿足任何終端用戶的需求。
3. 膜厚儀規(guī)格(Specificatins )
4. 膜厚儀配件(Accessries)
電腦 |
19 英寸屏幕的筆記本電腦/觸摸屏電腦 |
聚焦模塊 |
光學(xué)聚焦模塊安裝在反射探頭上,光斑尺寸<100um |
薄膜/比色皿容器 |
在標(biāo)準(zhǔn)器皿中對(duì)薄膜或液體的透射率測(cè)量 |
接觸式探頭 |
用于涂層厚度測(cè)量和光學(xué)測(cè)量的配件,適用于彎曲表面和曲面樣品 |
顯微鏡 |
用于高橫向分辨率的反射率及厚度顯微測(cè)量 |
自動(dòng)化平臺(tái)薄膜測(cè)繪 |
帶有圓晶卡盤的Polar(R-Θ)或 Cartesian(X-Y)自動(dòng)化樣品臺(tái)可選,Polar(R-Θ)樣品臺(tái)支持反射率測(cè)量,Cartesian(X-Y)樣品臺(tái)支持反射率和透射率測(cè)量 |
積分球組件 |
用于測(cè)量涂層和表面的鏡面反射和漫反射 |
手動(dòng) X-Y 樣品臺(tái) |
測(cè)量面積為 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的X-Y 手動(dòng)平臺(tái) |
加熱模塊 |
嵌入FR-tool 中,范圍由室溫~200oC,通過FR-Monitor 運(yùn)行可編程溫控器(0.1 oC 精度). |
液體模塊 |
聚四氟乙烯容器,用于通過石英光學(xué)窗口測(cè)量在液體中的樣品。樣品夾具,
用于將樣品插入可處理 30mmx30mm 樣品的液體中 |
流通池 |
液體中吸光率、微量熒光測(cè)量 |
5. 膜厚儀工作原理
白光反射光譜(WLRS)是測(cè)量垂直于樣品表面的某一波段的入射光,在經(jīng)多層或單層薄膜反射后,經(jīng)界面干涉產(chǎn)生的反射光譜可確定單層或多層薄膜(透明,半透明或全反射襯底)的厚度及 N*K 光學(xué)常數(shù)。
* 規(guī)格如有更改,恕不另行通知;
* 厚度測(cè)量范圍即代裱光譜范圍,是基于在高反射襯底折射率為 1.5 的單層膜測(cè)量厚度。
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