FR-Scanner 厚度測量視頻

       Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具，適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快 速和準確測量薄膜特性:厚度，折射率，均勻性，顏色等。真空吸盤可應用于任何直徑或其他形狀的樣片。

1、應用

• 半導體生產制造：(光刻膠, 電介質,光子多層結構， poly-Si, Si, DLC, )

• 光伏產業

• 液晶顯示

• 光學薄膜

• 聚合物

• 微機電系統和微光機電系統

• 基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

       Thetametrisis膜厚儀獨特的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此，在準確性、重現性和長期穩定性方面保證了優異的性能。

       Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 通過高速旋轉平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法，可以在很短的時間內記錄具有高重復性的精確反射率數據，這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。

測量 8” 樣片 625 點數據 < 60 秒

2、特征

• 單點分析(不需要預估值）

• 動態測量

• 包括光學參數(n和k，顏色) o 為演示保存視頻

• 600 多種的預存材料

• 離線分析

• 軟件更新

3、性能參數

4、測量原理

       白光反射光譜(WLRS)是測量從單層薄膜或多層堆疊結構的一個波長范圍內光的反射量，入射光垂直于樣品表面，由于界面干涉產生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或完全反射基板上)的薄膜的厚度、光學常數(n和k)等。

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