發布時間:2020-06-03
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岱美中國拿到采購Filmetrics薄膜厚度動態監測儀F30 膜厚儀的訂單。該客戶是國內最早引進生產型MOCVD設備,專業從事化合物半導體外延片及光電子器件研發與生產的高新技術企業。該公司擁有完整的產業鏈,是國內同行業唯壹同時具有全色域LED、民用LD外延材料制備、管芯生產、器件封裝及應用產品一條龍生產技術的企業,是國內規模最大的激光二極管芯片生產企業,在國內光電子行業處于優越地位。
Filmetrics膜厚測量儀:
美國Filmetrics公司生產的F30薄膜厚度動態監測儀膜厚儀主要應用于動態檢測,可針對樣品的沉積速率、n、k值等實時監測,測量精度可以達到1%,動態可以監測100nm以上厚度膜層,客戶可根據自身需要選擇F30系列不同型號產品。其中F30波段范圍為380-1050nm,F30-NIR波段范圍為950-1700nm,F30-EXR波段范圍為380-1700nm。
客戶方使用膜厚儀F30主要應用于MOCVD上針對砷化鎵基底樣品進行膜層厚度動態監測。
(該設備已安裝調試驗收完畢。)