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岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F50-EXR膜厚儀的訂單（2011.6.17）

發布時間：2020-06-01

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       岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F50-EXR膜厚儀的訂單。該客戶是國內知名的工學研究機構，主要研究微電子和集成電路制造技術，與工業部門合作研制出國內第 一塊工業實用PN結隔離集成電路、ECL高速電路和國內第一塊8位、16位微處理器。開展微電子機械系統（MEMS）和SOI材料研究，在國內居優越地位，并在國際上占據了重要的一席之地。主要用來測量各種半導體信息功能材料，比如GST等。
       F50-EXR膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1700nm的可見紅外光干涉測量，能夠測量15nm-250um范圍的膜層厚度，精度達0.1nm，系統自身擁有坐標掃描定位，本身所帶的波長范圍很寬廣，測量厚度范圍因此很廣。
       （系統已于2011年8月交付，安裝和和驗收）
F50-EXR膜厚儀
技術中心

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