F30-PD-3薄膜厚度動態監測儀主要應用于動態檢測，可針對樣品的沉積速率、厚度等實時監測，測量精度可以達到1%，動態可以監測100nm以上厚度膜層。F30-PD-3可以同時支持多達3個探頭，可以在一個鍍膜腔體中的不同位置進行監控，也可以同時監控3臺設備的生長情況，性價比非常高。 

       （該系統將于2011年1月交付，安裝和和驗收）