系統可以為各種材質薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創新的融合光譜反射技術、近紅外干涉技術以及高亮度光源驅動的光譜橢偏儀技術的

多傳感器融合測量技術，是國內可以實現同質膜厚全自動檢測的系統。

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*1：靜態精度或可稱為同點位多次連續測量的最大偏差值，數據為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結果

*2：多次取放測量同點位數據的最大三倍標準差值，數據為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結果