翹曲度測量儀的功能優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在哪里

發(fā)布時間：2023-01-13

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美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。

美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀特殊功能優(yōu)點(diǎn)：

1、*封閉的設(shè)計，溫度更穩(wěn)定。

2、特殊的設(shè)計使震動偏移降到較低。

3、圖形式使用界面更容易使用。

4、當(dāng)改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動重新計算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。

5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。

6、可以計算應(yīng)力的均勻性。

7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ，提供給SPC 分析。

8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計，手動裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。

9、優(yōu)異的分辨率測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡（大約 0.8%）

10、FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀全3D測繪的手動旋轉(zhuǎn)平臺。

11、測量局部應(yīng)力測量42 點(diǎn)/mm 并大于8400 點(diǎn)/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。