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如何測試醫學MEMS器件力學形貌

發布時間：2021-01-04

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       MEMS和微結構是非常廣范的醫學和生物學應用的關鍵基礎技術和橫截面技術。使用范圍從具有用于快速醫學診斷的高頻表面波的芯片實驗室應用到用于助聽器的MEMS麥克風以及基于微系統技術的醫學成像超聲換能器。
       您可以依靠基于顯微鏡的非接觸式光學測量技術來確定醫療MEMS傳感器和執行器的表面形貌和動態特性。例如，基于顯微鏡的振動測量還用于從自然到技術系統的仿生啟發式“技術轉移”，以測量昆蟲聽力的生物力學。
       一個實際的例子：
       在IVUS（血管內超聲）和超聲心動圖等應用中，微加工超聲換能器（pMUT和cMUT）突破了實時3D醫學成像（超聲）的領域。
       為了表征這些換能器元件的微觀力學特性，必須在高頻（?10MHz）和高空間分辨率（<1μm）下進行測量。微系統分析儀提供的各種可能性可為pMUT和cMUT開發提供蕞大的精度和零接觸的信息。