發布時間:2010-10-20
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華南地區某杰出高校與國內某杰出平板電視廠商合作成立的OLED項目產業基地,向岱美采購的EVG6200NT光刻機于今年八月份正式裝機驗收完成,這是繼EVG在華東地區遍地開花后,在華南市場再下一城,這也是EVG在國內安裝的首臺NT系列光刻機,標志著EVG正式邁出了其向華南市場進軍最堅實的一步。
EVG公司是半導體、微電子機械系統以及納米技術領域應用的領先者。其產品的銷售業績一直居于業內的榜首。它的主要產品包括芯片鍵合、納米壓印、平版印刷、測量儀器、雙面光刻、涂膠、清洗、以及檢查系統。他們提供的Aligner設備全球優越,除標準的雙面對準光刻,它也可以用作鍵合前的最先預對準。EVG的光刻設備因其良好的穩定性和極高的對位精度,可用于各種要求嚴格的場合,有手動、半自動及全自動型號可選,可廣泛應用于半導體、MEMS及先進封裝生產及研發。
NT系列光刻機作為EVG公司的下一代主力產品,其增強化的設計主要體現在花崗巖底座的主動防震隔離、用于頂部顯微鏡Y軸定位的線性馬達和軟件的現場對位確認上,這都非常有效地提高了操作的簡便性以及設備本身的對位精度。
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